Global
0512-62580966
+86-18006218012
+86-18006218012
碳纳米管器件是在碳纳米管晶圆基础上进行了光刻、镀膜、刻蚀等一系列半导体加工工艺的，具备一定电学功能的器件，可应用于3D异构芯片、射频芯片、低轨通讯、光电传感等领域，具备高速、低功耗、兼容芯片后道工艺等特点。
Fab兼容的碳纳米管CMOS工艺
光刻 | 镀膜 | 刻蚀
关键工艺简化（vs.硅基工艺）：无需离子注入
高速
低功耗
兼容芯片后道工艺
3D异构芯片
射频芯片、低轨通讯领域
光电传感
电话：0512-62580966 | +86-18006218012
邮箱：service@cs-tec.com.cn
地址：中国江苏省苏州工业园区浦田路75号23幢
