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碳纳米管晶圆产品
碳纳米管晶圆产品

驱动未来算力与通信的材料平台

产品概述

碳纳米管晶圆是采用高纯度的半导体性碳纳米管,经过分散、自组装、转移及图形化等先进工艺制备而成的功能性晶圆。作为后摩尔时代碳基半导体产业的核心基础材料,它以其超高载流子迁移率、本征纳米尺度与理想CMOS兼容性,为突破传统硅基芯片的性能极限提供了全新路径。

赋能场景

碳纳米管晶圆经过后续的光刻、刻蚀、镀膜及集成工艺,可制成CNT 3D电容、红外传感器件、高频/射频器件、M3D后道集成电路、AI芯片、前道逻辑芯片等一系列高性能电子器件与芯片。这些器件天然具备高速、低功耗、高频率等特性,主要服务于对算力、能效和频率有极致要求的前沿领域:

高性能计算

为下一代数据中心、人工智能加速芯片提供底层算力支撑

高频通信

应用于5G/6G通信、毫米波雷达及太赫兹技术中的核心射频组件

低功耗AI芯片

通过单片3D异构集成,极大提升互联密度,增加AI运算的带宽,降低运算功耗

CARBON A1 2026
CARBON A1 2026 (d=1.0±0.1 nm)

尺寸:4英寸 / 8英寸

管径:1.0±0.1 nm

密度:360根/微米,230根/微米 

半导体纯度:>99.9999%

取向角:<5°

基底:包括但不限于氧化硅、氮化硅、玻璃和石英等

SEM图

SEM-1 (1).jpgSEM-1 (2).jpg

Cross Section TEM图

TEM1.jpgTEM2.jpg

Figure.1 Scanned Sample lmage

Peak information

RankRaman shift (range) / cm-1Abs.Intensity (range)
11590~159617800~19600
21320~1330400~500

G/D: 35.6~49.00

Figure.2 Scanned Sample Image of RBM (Single-point)

Peak information of RBM (Single-point)

RankRaman shift (range) / cm-1Abs.Intensity (range)
1233~236700~800

CNT Diameter: 0.95~0.96 nm

(经验)

CARBON A2 2026
CARBON A2 2026 (d=1.2±0.1 nm)

尺寸:4英寸 / 8英寸

管径:1.2±0.1 nm

密度:360根/微米,230根/微米 

半导体纯度:>99.9999%

取向角:<5°

基底:包括但不限于氧化硅、氮化硅、玻璃和石英等

SEM图

SEM-1 (1).jpgSEM-1 (2).jpg

Cross Section TEM图

TEM1.jpgTEM2.jpg

Figure.1 Scanned Sample lmage

Peak information 

RankRaman shift (range) / cm-1Abs.Intensity (range)
11590~160018000~19000
21325~1340440~520

G/D: 34.62~43.19

Figure.2 Scanned Sample Image of RBM (Single-point)

Peak information of RBM (Single-point)

RankRaman shift (range) / cm-1Abs.Intensity (range)
1193~196950~1050

CNT Diameter: 1.14~1.16 nm

(经验)

CARBON A1 2026
CARBON A1 2026 (d=1.4±0.1 nm)

尺寸:4英寸 / 8英寸

管径:1.4±0.1 nm

密度:360根/微米,230根/微米

半导体纯度:>99.9999%

取向角:<5°

基底:包括但不限于氧化硅、氮化硅、玻璃和石英等

SEM图

SEM1.jpgSEM2.jpg

Cross Section TEM图

TEM1.jpgTEM2.jpg

Figure.1 Scanned Sample lmage

Peak information 

RankRaman shift (range) / cm-1Abs.Intensity (range)
11593~159518750~18900
21333~1340450~480

G/D: 39.0~42.0

Figure.2 Scanned Sample Image of RBM (Single-point)

Peak information of RBM (Single-point)

RankRaman shift (range) / cm-1Abs.Intensity (range)
1170~173930~1000

碳纳米管 Diameter: 1.30~1.32 nm

(经验)

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